Risonatori nanomeccanici con piezoelettricità
I risonatori meccanici con fattore di alta qualità (Qm) sono fondamentali per le applicazioni in cui sono richiesti basso rumore e lunghi tempi di coerenza, come sospensioni di specchi, dispositivi optomeccanici a cavità quantistica o sensori nanomeccanici. La deformazione a trazione nel materiale consente l'uso di tecniche di diluizione della dissipazione e ingegneria della deformazione, che aumentano il fattore di qualità meccanica. Queste tecniche sono state impiegate per risonatori meccanici ad alto Qm realizzati con materiali amorfi e, recentemente, con materiali cristallini come InGaP, SiC e Si.